什么是准分子雷射 (Excimer Laser )
发布时间：2019-10-11 12:25浏览次数：
所谓准分子雷射（Excimer Laser），是指在雷射的介质中，使用稀有气体和卤素等混合气体的紫外线（UV）雷射，具代表性的例子有ArF准分子雷射（波长193nm）、KrF准分子雷射(波长248nm)、XeCl准分子雷射（波长308nm）、XeF准分子雷射（波长351nm）。
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准分子雷射的应用例 准分子雷射散发的紫外光，拥有高光子能量以及非常高的尖峰功率，非常具有魅力，因此各个工业领域都在进行这种强烈光线的应用研究。举例来说，像是雕刻CO2雷射和YAG雷射所无法应付的材料、高分子膜和半导体薄膜等的剥离加工、铁氟龙等树脂的表面改质、掺杂或沉积等半导体製造过程的应用，以及TSV的穿孔等。 其中最成功的例子之一是，半导体製程当中微影（Lithography）技术所用的光源。
此外，近年来伴随著液晶的高度精细化，製造液晶用的雷射退火也受到瞩目。这在製造多结晶低温多晶硅（LTPS=Low Temperature Poly-silicon）的过程中，是不可或缺的工序。
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